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Thèses et Mémoire de l'Université de Strasbourg

Étude de la diffusion des dopants usuels dans le germanium

CANNEAUX, Thomas (2009) Étude de la diffusion des dopants usuels dans le germanium. Thèses de doctorat, Université de Strasbourg.

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Résumé

La technologie planar silicium doit aujourd’hui faire face à des limites physiques. Pour contourner celles-ci, un des moyens consiste à remplacer le silicium par un autre semi-conducteur dont la mobilité des porteurs est plus élevée. Le germanium est alors un bon candidat. Pour la fabrication de circuits performants, connaître les vitesses de diffusion des dopants dans le matériau est primordial. Dans ce but, ce travail a été consacré à l’étude de la diffusion du gallium, de l’indium, du phosphore, de l’arsenic et de l’antimoine dans le germanium. Nous avons déterminé les coefficients de diffusion de ces dopants à l’aide d’un nouveau modèle permettant de décrire correctement leur déplacement en faisant intervenir la lacune triplement chargée négativement. Les techniques de dopage du germanium différant sensiblement de celles du silicium, nous avons dû adapter les méthodes couramment mises en œuvre au laboratoire. La diffusion dans le germanium s’effectue via les lacunes neutres, doublement et triplement négativement chargées (les deux premières dans un matériau de type P, les deux dernières dans du type N). Ces mécanismes sont assez différents de ceux établis pour le silicium. Nous avons également étudié l’influence des recuits rapides, d’une encapsulation par du SiO2 ou du Si3N4 ainsi que celle des défauts d’implantation. L’encapsulation et les différents types de recuits n’influencent pas la diffusion mais la première permet de limiter la perte de dose durant les traitements thermiques.

Type d'EPrint:Thèse de doctorat
Discipline de la thèse / mémoire / rapport :Électronique, électrotechnique et automatique. Microélectronique
Mots-clés libres:germanium ; dopage ; diffusion ; phosphore ; arsenic ; antimoine ; gallium ; indium
Sujets:CL Classification > DDC Dewey Decimal Classification > 600 Technologie (sciences appliquées) > 620 Sciences de l'ingénieur > 621 Génie mécanique. Physique appliquée > 621.3 Electrotechnique, éclairage, électronique, télécommunications > 621.38 Électronique et télécommunications
Classification Thèses Unistra > Sciences, technologies > Sciences appliquées > 620 Sciences de l'ingénieur > 621 Génie mécanique. Physique appliquée > 621.3 Electrotechnique, éclairage, électronique, télécommunications > 621.38 Électronique et télécommunications

UNERA Classification UNERA > ACT Domaine d'activité UNERA > ACT-9 Electronique, automatique, électrotechnique, génie électrique
UNERA Classification UNERA > DISC Discipline UNERA > DISC-21 Ingénierie et technologies
Code ID:1751
Déposé le :05 Mars 2010

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