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Thèses et Mémoire de l'Université de Strasbourg

Méthodes de conception et de fabrication de dispositifs imageurs en optique diffractive à structures sub-longueur d’onde

RAULOT, Victorien (2011) Méthodes de conception et de fabrication de dispositifs imageurs en optique diffractive à structures sub-longueur d’onde. Thèses de doctorat, Université de Strasbourg.

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Résumé

Les composants diffractifs à structures sub-longueur d’onde présentent l’avantage de ne nécessiter qu’une seule étape de fabrication et d’atteindre des efficacités de diffraction très élevées, comparables à celles obtenues par des éléments diffractifs à plusieurs niveaux de phase. Ces éléments sont néanmoins plus difficiles à simuler puisque l’approximation scalaire de la propagation électromagnétique n’est plus suffisante. Ils sont également plus difficiles à fabriquer puisque leurs dimensions critiques sont inférieures à la longueur d’onde de la lumière utilisée. Ainsi, le travail de thèse présenté dans ce mémoire concerne la conception, la simulation, la réalisation et la caractérisation d’éléments diffractifs à structures sub-longueur d’onde. Pour modéliser le comportement de la lumière traversant ce type d’éléments, la simulation a été scindée en deux parties : la méthode FDTD a été utilisée pour calculer la propagation électromagnétique en champ proche, c’est à dire autour de l’élément diffractif, et la méthode RSM, méthode modale, pour calculer efficacement la propagation dans l’espace libre. Les premiers composants tests ont été réalisés par nano-lithographie électronique dans une couche mince de résine électro-sensible (SU8), afin de déterminer les structures réalisables avec ce type de dispositif. Ces différents éléments ont ensuite été caractérisés par microscopie à force atomique, électronique, et interférométrique à contrôle de polarisation, fonctionnant en réflexion.

Type d'EPrint:Thèse de doctorat
Discipline de la thèse / mémoire / rapport :Sciences pour l’Ingénieur. Photonique
Mots-clés libres:éléments diffractifs à structures sub-longueur d'onde ; simulation rigoureuse vectorielle ; microscopie interférométrique ; nano-lithographie électronique
Sujets:CL Classification > DDC Dewey Decimal Classification > 500 Sciences de la nature et mathématiques > 530 Physique > 535 Lumière visible (optique) et phénomènes de l'infrarouge et de l'ultraviolet > 535.2 Optique physique
Classification Thèses Unistra > Sciences, technologies > Sciences de la nature et mathématiques > 530 Physique > 535 Lumière visible (optique) et phénomènes de l'infrarouge et de l'ultraviolet > 535.2 Optique physique

CL Classification > DDC Dewey Decimal Classification > 600 Technologie (sciences appliquées) > 620 Sciences de l'ingénieur > 621 Génie mécanique. Physique appliquée > 621.3 Electrotechnique, éclairage, électronique, télécommunications > 621.38 Électronique et télécommunications
Classification Thèses Unistra > Sciences, technologies > Sciences appliquées > 620 Sciences de l'ingénieur > 621 Génie mécanique. Physique appliquée > 621.3 Electrotechnique, éclairage, électronique, télécommunications > 621.38 Électronique et télécommunications

UNERA Classification UNERA > ACT Domaine d'activité UNERA > ACT-9 Electronique, automatique, électrotechnique, génie électrique
UNERA Classification UNERA > DISC Discipline UNERA > DISC-21 Ingénierie et technologies
Code ID:2365
Déposé le :02 Mars 2012

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